Plasmaätzgerät

Gerätebeschreibung

Das Zepto von Diener electronics ist ein Niederdruck-Plasmaätz-System zum Reinigen, Aktivieren, Ätzen und Beschichten diverser Materialoberflächen. Das Plasmaätzen kann unter reiner Sauerstoff- und unter Sauerstoff /Argon-Atmosphäre durchgeführt werden. Ziel des Verfahrens ist es, Materialoberflächen zu aktivieren und unerwünschte organische Ablagerungen zu entfernen, um die Oberflächen für nachfolgende Prozesse vorzubereiten.

Geräteinformationen