Ion Beam Miller

Gerätebeschreibung

Der Querschliff-Polierer SM-09010 enthält eine Probenkammer, die durch eine Turbomolekularpumpe evakuiert wird, ein Ionenstrahlsystem, ein Abschirmplatten-Haltesystem, einen X- und Y-Tischantrieb und einen verstellbaren Probentisch. Um einen glatten Querschnitt der Probe zu erhalten, bestrahlt der Polierer die mit einer Abschirmplatte abgedeckte Probe vertikal mit einem Ionenstrahl, der die Probe entlang des Randes der Abschirmplatte schneidet.

• Ionenbeschleunigungsspannung: 2 bis 6 kV
• Ionenstrahlbreite (FWHM): 500 µm (bei einer Beschleunigungsspannung von: 6 kV, Probe: Si)
• Poliergeschwindigkeit: 1,3 µm/min oder mehr (bei einer Beschleunigungsspannung von: 6 kV, Probe: Si)
• Maximale Probengröße: 11 mm (W) x 9 mm (L) x 2 mm (T)
• Bewegungsbereich der Probe: ±3 mm (X-Achse) / ±3 mm (Y-Achse)
• Neigungsbereich des Objekts: ±50
• Gas zum Polieren: Argon
• Manometer: Einstreuungstyp
• Hauptentlüftungspumpe: Turbo-Molekularpumpe
• Abmessungen des Geräts: 380 mm (W) x 520 mm (H) x 570 mm (D)
• Gewicht: ca. 41kg 

Geräteinformationen